1、基恩士激光跟踪干涉仪，通过可动相机捕捉探头标记点所发出的近红外光，高精度识别探头位置，在大范围内也能实现高精度测量。2、半导体检测精度高，测速快，在潮湿环境中也可以进行测量，检测更精确为芯片生产厂商在技术数据范围内，可用于工作台和机器内的干燥或潮湿环境。...